【ULVACグループ】計測機器コンポーネント・分析装置

㈱アルバック製計測機器コンポーネント:真空計

あらゆる圧力を測定できる真空計のラインナップを取り揃えています。

  • 大気圧ピラニ真空計
    SW1
  • ピラニ真空計
    GP-1000G
  • マルチイオンゲージ
    SH2
  • キャパシタンスマノメーター CCMT-D
  • 電離真空計 GI-M2

㈱アルバック製計測機器コンポーネント:リークデイテクター・ガス分析計・膜厚計

ベストセラーのリークディテクター・真空の質の測定や成膜を成業する機器のご紹介です。

  • リークディテクターHELIOT900シリーズ
  • 自動ヘリウムリークテストシステム用リークディテクタ HELIOT ZERO
  • ベーシックプロセスガスモニタ QuleeBGM
  • 差動排気系キット付四重極質量分析計
    Qulee with YTP
  • 水晶発振式成膜コントローラー CRTM-9100G

表面分析装置・薄膜計測機器

表面・界面のナノスケールの表面分析から薄膜プロセスの膜厚や放電状態を測定する機器のご紹介です。

  • 高速分光エリプソメータ UNECS
  • 光学式プロセスモニタ Optius
  • 走査型X線電子分光分析装置 PHI5000VersaProbeⅡ
  • 二時イオン質量分析装置 PHI nanoTOFⅡ
  • 走査型オージェ電子分光分析装置 PHI710