【ULVACグループ】研究開発・量産装置・材料・委託成膜

研究開発向け装置

あらゆる研究開発のニーズにお応えする装置を取り揃えております。

  • ロードロック式スパッタ装置 CS-200
  • 有磁場ICP高密度プラズマエッチング装置 NE-550
  • クラスター式プラズマCVD装置 CME-200E
  • バッチ式高真空蒸着装置 ei-5
  • 小型凍結真空乾燥装置 DFR-5N-B

生産向け装置

真空熱処理や凍結乾燥装置などあらゆる産業を対象にした装置のご紹介です。

  • 多室型真空熱処理炉
    FHシリーズ
  • 真空ろう付炉
    FBシリーズ
  • 小型インターバック式スパッタ装置 SIVシリーズ
  • 巻取式スパッタリング装置 SPWシリーズ

成膜装置向け材料

半導体・電子機器・パワーエレトロニクス等幅広いニーズにお応えいたします。

  • スパッタリング装置円形カソード向けターゲット
  • スパッタリング装置角型カソード向けターゲット
  • ナノメタルインク