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MILA-700AR│アドバンス理工社製(空冷卓上型ランプ加熱装置)製品紹介│三弘エマテック株式会社

MILA-700AR│アドバンス理工社製(空冷卓上型ランプ加熱装置)製品紹介│三弘エマテック株式会社
型式 MILA-700AR
メーカー アドバンス理工㈱
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製品説明

温度範囲:RT~700℃(最高800℃)

最高昇温速度:25℃/s ※RT~700℃の範囲でノンコントロールフルパワー加熱時の平均加熱速度

ガス温度分布:ΔT=10℃ at 700℃保持中

加熱雰囲気:大気中、真空中、不活性ガス中

試料寸法:W20㎜×L20㎜×t2.0㎜ MAX

温度制御センサ:JIS熱電対 K

ランプ定格:赤外線ランプ 100V 375W 4本使用

外形寸法:約W360㎜×D300㎜×H310㎜(突起物は除く)

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

特徴

  • 冷却水は不要で、空冷ファンによる空冷方式を採用
  • 壁コンセント(AC100V 15A)で使用可能
  • 加熱炉と加熱チャンバ、温度制御器が一体化した卓上型
  • 赤外線ゴールドイメージ炉のクリーンな高速加熱と高速冷却
  • 温度レシピはパソコンで簡単入力
  • 加熱中の温度データをパソコン画面に表示可能
  • デジタル流量計を標準装備し、N2ガス、Arガス、乾燥空気の選択が可能
  • Si ウエハ、化合物ウエハの高速加熱
  • 光CVDの基板加熱などエレクトロニクス材料の高速加熱
  • ガラス基板、セラミックス、複合材料などの熱処理
  • 熱サイクル試験
  • 金属材料の焼鈍
  • コーティング膜の耐熱評価
  • 有機材料、樹脂類の加熱、乾燥

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