油回転真空ポンプ載せ替え事例│三弘エマテック株式会社

ポンプ載せ替えケース③

油回転真空ポンプからドライ真空ポンプへの載せ替え事例

ターボ分子ポンプの補助ポンプとして使用されていた油回転真空ポンプ排気側のゴム継手の劣化で、排気ガスが室内に漏れて使用を停止していた。部品調達の相談をいただく。

使用されている油回転真空ポンプが古い型式の為、部品の調達、メンテナンスが不可能。

同等の排気速度での油回転真空ポンプを提案し、併せてドライ真空ポンプポンプを紹介。

ドライ真空ポンプを採用いただく。将来的にはターボ分子ポンプを増設される予定もあり、その補助ポンプにも兼用できるように当初の排気速度よりも大型のドライ真空ポンプを採用いただく。

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