オイルクリーナー

ローターリーポンプの長寿命化に繋がるオイルクリーナー導入の事例となります

ウェハ製造の真空工程にてロータリーポンプを使用しているが、早期にポンプ性能低下や故障が発生しており、メンテナンス費用増加と生産計画のズレが生じていた。

メンテナンス費用を抑えるため、メーカーへの依頼ではなく、社内でメンテナンス体制確立しを整備実施。しかし、生産量が増加するにあたり、ポンプ故障台数が増加し、メンテナンス工数UPと製品再処理による生産計画のズレが問題となっていた。ポンプの長寿命化と性能安定化ができれば社内メンテナンス工数削減に繋がる。

真空ポンプのオイル分析を行い、早期故障の原因調査を実施。ポンプ後段にオイルクリーナー（酸除去）を提案。

オイルクリーナーを採用してもらったことで、格段にポンプの寿命がのびた。これにより、社内メンテナンス工数削減とポンプ性能安定化に繋がり、メンテナンス予備部品の適正在庫を管理できるようになった。

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