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Contour X-500│ブルカージャパン社製(3次元白色光干渉顕微鏡)製品紹介│三弘エマテック株式会社

Contour X-500│ブルカージャパン社製(3次元白色光干渉顕微鏡)製品紹介│三弘エマテック株式会社
型式 Contour X-500
メーカー ブルカージャパン㈱
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製品説明

・Contour X-500基本仕様

測定方式:USI方式、VSI方式、PSI方式

垂直分解能:<0.01mm

段差再現性:<0.1%

使用光源:高輝度LED(白色。緑色)

最大測定速度:37μm/秒

最大測定レンジ:最大10mm

CCDカメラタイプ:標準型モノクロ 1200×1000画素、カラー(オプション)

XYステージサンプル:150mm×150mm電動(エンコーダー制御)

Zステージ:100mm電動

Zサンプルスペース:100mm、150mmの切替え

傾斜調整:±6°電動メーションヘッド(コンピュータコントロール)

・制御解析ソフトウェア:Vision64基本機能

自動調整(光量、範囲)、2D解析、3D解析、マルチリージョン解析、オートフォーカス、スティッチング

ステージプログラム、Vision64Map(高機能オフライン制御解析ソフトウェア)

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

特徴

電動ヘッドチルトを搭載したハイパフォーマンスモデル

各種3D測定:表面形状(粗さ)、形状、段差

圧倒的な高さ測定ダイナミックレンジ:0.1nm~19mm

クローズドループ制御により高い測定再現性を実現

試料に合わせた測定モードを標準搭載

2種類の高輝度LEDで反射率の異なる素材にも適応

日本語対応ソフトで誰でも簡単に操作可能

手動、電動のセットが選択可能

豊富なオプション群から必要な機能を拡張可能

オプション部品

・タブレット対応対物レンズ

標準対物レンズ:2.5X、5X、10X、20X、50X、115X

光学ズームレンズ:0.55X、0.75X、1.5X、2X

・シングル対応対物レンズ

対物レンズアダプタ

低倍干渉対物レンズ:1.5X

長作動干渉対物レンズ:2XLWD、5XLWD、10XLWD

環境対応レンズ(TTM型)レンズ:2XTTM、5XTTM、10XTTM、20XTTM

装置のアップグレード

リアルカラーイメージングシステムの追加が可能です。

干渉計測によって得られた高さ情報に加え、リアルカラー情報を同時に取得します。

顕微鏡視野内で色の異なる表面の計測においてリアルカラーシステムは優れた性能を発揮します。

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