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シンプルな機構で手軽に操作をいただくことができ、本格的な真空蒸着が行っていただくことが可能です。

用途：理化学実験用、表面分析試料作成用、小規模生産用など広い分野でご利用いただくことが可能です。

【装置仕様】

蒸着性能

形成膜：金属膜

膜厚分布：ø50mmエリア±5%、ø100mmエリア±10%

蒸着方式：抵抗加熱式

蒸着電源：AC10V、100A（Max）

蒸着制御：電圧制御

ボート切替器(オプション)：別置き

【基板性能】

サイズ：ø100mm以下

回転機構：なし

【排気性能】

メインポンプ：ターボ分子ポンプ（50 L/s）

補助ポンプ：油回転真空ポンプ（160L/min）

到達圧力：1×10-3Pa以下（1 時間）

【ポンプ排気】

許容排気口圧力：20kPa・G以下

【電源】

AC200V、1ø、50 ／ 60Hz、1.7KVA（1 電源）

AC200V、1ø、50 ／ 60Hz、2.7KVA（2 電源）

【アース】

D種接地

【機器各種重量】

装置本体 ： 48kg

油回転真空ポンプ ： 25kg

蒸着電源 ： 26kg

ボート切替器 ： 4kg

【機器各種サイズ】

装置本体 ： W400mm×D400mm×H670mm

ベルジャー：Φ250mm×H330mm

蒸着電源 ： W260mm×D415mm×H320mm

ボート切替器(オプション) ： W200mm×D320mm×H115mm

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

①真空排気・蒸着・リークまでを全自動化

・全自動制御となりますので真空装置の操作および、蒸着経験の有無に関わらずどなたでも仕上がりが均一になります。

・ワーク(試料)と蒸着材料の脱着以外はスタートボタンを押すのみの簡単操作です。

②液晶タッチパネルで画面の視認性および操作性の向上

・タッチパネルで装置の状態を色分け表示していますので確認が行い易いです。

・蒸着の条件がデジタル値となるので正確なデータを収集することが可能です。

③安全機能

・インターロック、アラーム機能による誤操作防止と安全確保。

・エラー対処内容がタッチパネルに表示され復旧作業をサポートします。

④ユーティリティ

・電気のみで圧空や冷却水を必要となりません。

⑤コンパクト

・机上やドラフトチャンバー内に設置が可能なコンパクトサイズとなります。