UTM-MIシリーズ│アルバック社製（ターボ分子ポンプ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- UTM-MIシリーズ│アルバック社製（ターボ分子ポンプ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 UTM-MIシリーズ メーカー ㈱アルバック
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製品説明
磁気軸受採用のコントローラ一体型ターボ分子ポンプ。ポンプ本体、コントローラを一体にする事で、省配線、省スペースを実現しております。
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
・ポンプ本体とコントローラが一体型のため、面倒な配線の引き回しが不要です。
・取付方向に制限が無く、自由な方向に取付可能のため装置設計の際の自由度が上がります。
・ライトプロセスに適した広域大流量設計です。
・ポンプ回転数変更可能。回転数25～100％の範囲で、チャンバーの圧力調整が可能です。
・大気突入試験をはじめ、タッチダウン試験などの各種安全性を確認する試験をクリア。
UTM1200A 仕様
吸気口：VG150、ISO160F
排気口：KF40
到達圧力【Pa】：1×10-7乗台
排気速度【L/sec】：N2→1030、Ar→980、H2→660
圧縮比：N2→2×10^8、He→7×10^3、H2→8×10^2
最大給気口圧力【Pa】：26
最大排気口圧力【Pa】：266
回転数【min-1】：37200
回転数可変機構：ポンプの規定回転数の25%～100％の間で運転回転数の変更可能
起動時間【min】：8
取付方向：全方位取付可能
表面処理：無し
外部制御(リモートインターフェース)：D-sub25ピンメス 接点入出力
外部制御(シリアルインターフェース)：専用丸形コネクタ RS232C/RS485
コントローラ：構成→ポンプ本体と一体(底部に内蔵)
電源→単相AC200V～240V±10%（50～60Hz ±2Hz）
最大所要動力：0.75kVA
冷却方式：水冷
冷却水流量【L/min】：3～4
冷却水水圧【MpaG】：0.2～0.4
騒音【dB(A)】：57
質量【Kg】：43
推奨補助ポンプ：600L/min以上
適合規格：CE、TUVus
標準付属品：給気口Oリング(VGのみ)、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書(CD-ROM)
選択仕様：ACケーブル→ACコネクタ/ACケーブル（5m/10m/15m/20m)
ポンプ固定用特殊ボルト要否→要（M10）
オプション品：ガスポート用アダプタKF10
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
UTM1600A 仕様
給気口：VG200、VG250、ISO200F、ISO250F
排気口：KF40
到達圧力【Pa】：1×10-7乗台
排気速度【L/sec】：N2→1400、Ar→1330、H2→750
圧縮比：N2→2×10^8、He→7×10^3、H2→8×10^2
最大給気口圧力【Pa】：26
最大排気口圧力【Pa】：266
回転数【min-1】：37200
回転数可変機構：ポンプの規定回転数の25%～100％の間で運転回転数の変更可能
起動時間【min】：8
取付方向：全方位取付可能
表面処理：無し
外部制御(リモートインターフェース)：D-sub25ピンメス 接点入出力
外部制御(シリアルインターフェース)：専用丸形コネクタ RS232C/RS485
コントローラ：構成→ポンプ本体と一体(底部に内蔵)
電源→単相AC200V～240V±10%（50～60Hz ±2Hz）
最大所要動力：0.75kVA
冷却方式：水冷
冷却水流量【L/min】：3～4
冷却水水圧【MpaG】：0.2～0.4
騒音【dB(A)】：57
質量【Kg】：41
推奨補助ポンプ：600L/min以上
適合規格：CE、TUVus
標準付属品：給気口Oリング(VGのみ)、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書(CD-ROM)
選択仕様：ACケーブル→ACコネクタ/ACケーブル（5m/10m/15m/20m)
ポンプ固定用特殊ボルト要否→不要
オプション品：ガスポート用アダプタKF10
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
UTM2300A 仕様
給気口：VG250、ISO250F
排気口：KF40
到達圧力【Pa】：1×10-7乗台
排気速度【L/sec】：N2→2100、Ar→2000、H2→1380
圧縮比：N2→1×10^8以上、He→5×10^3、H2→9×10^2
最大給気口圧力【Pa】：4.5
最大排気口圧力【Pa】：200
回転数【min-1】：33700
回転数可変機構：ポンプの規定回転数の25%～100％の間で運転回転数の変更可能
起動時間【min】：9
取付方向：全方位取付可能
表面処理：無し
外部制御(リモートインターフェース)：D-sub37ピンメス 接点入出力
外部制御(シリアルインターフェース)：D-sub9ピンオス RS232C/RS485
コントローラ：構成→ポンプ本体と一体(底部に内蔵)
電源→単相AC200V～240V±10%（50～60Hz ±2Hz）
最大所要動力：1.2kVA
冷却方式：水冷
冷却水流量【L/min】：3～4
冷却水水圧【MpaG】：0.2～0.4
騒音【dB(A)】：60
質量【Kg】：56
推奨補助ポンプ：1500L/min以上
適合規格：CE、TUVus
標準付属品：給気口Oリング(VGのみ)、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書(CD-ROM)
選択仕様：ACケーブル→ACコネクタ/ACケーブル（5m/10m/15m/20m)
ポンプ固定用特殊ボルト要否→不要
オプション品：ガスポート用アダプタKF10
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
UTM3400A 仕様
給気口：VG300、VG350、ISO320F
排気口：KF40
到達圧力【Pa】：1×10-7乗台
排気速度【L/sec】：N2→3200、Ar→3100、H2→2100
圧縮比：N2→1×10^9以上、He→1×10^5、H2→6×10^3
最大給気口圧力【Pa】：7
最大排気口圧力【Pa】：270
回転数【min-1】：27600
回転数可変機構：ポンプの規定回転数の25%～100％の間で運転回転数の変更可能
起動時間【min】：16
取付方向：全方位取付可能
表面処理：無し
外部制御(リモートインターフェース)：D-sub37ピンメス 接点入出力
外部制御(シリアルインターフェース)：D-sub9ピンオス RS232C/RS485
コントローラ：構成→ポンプ本体と一体(底部に内蔵)
電源→単相AC200V～240V±10%（50～60Hz ±2Hz）
最大所要動力：1.2kVA
冷却方式：水冷
冷却水流量【L/min】：3～4
冷却水水圧【MpaG】：0.2～0.4
騒音【dB(A)】：60
質量【Kg】：94
推奨補助ポンプ：1500L/min以上
適合規格：CE、TUVus
標準付属品：給気口Oリング(VGのみ)、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書(CD-ROM)
選択仕様：ACケーブル→ACコネクタ/ACケーブル（5m/10m/15m/20m)
ポンプ固定用特殊ボルト要否→不要
オプション品：ガスポート用アダプタKF10
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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