大容量DC電源│アルバック社製（DC-AMシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 大容量DC電源│アルバック社製（DC-AMシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 DC-AMシリーズ メーカー ㈱アルバック
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製品説明
スパッタリング用DC電源。DC-10およびDC-20は10kWおよび20kW出力。
電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な電源です。
【用途】
・FPD用スパッタリング装置
・半導体用スパッタリング装置
・タッチパネル用スパッタリング装置
・産業コーティング用スパッタリング装置
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
‧ 軽量、省スペース
‧ 出力電圧範囲が選択可能
‧ 豊富なアークハンドリング
プラズマを熟知した豊富なアーク制御方式。
‧ 強制空冷方式のため冷却水不要
‧ 高速アーク遮断回路を搭載可能
低アークエネルギーを実現。オプションで、高速アーク遮断回路も搭載可能。
‧ 自由な並列運転機能を搭載可能
DC-10、DC-20は、オプションの並列運転機能により、10kWと20kWを組み合わせて最大12台までの並列可能
DC-10-AM仕様
入力仕様
・入力電圧 ：3相 AC187～229V
・入力容量：13.5kVA以下
出力仕様
・最大定格電力： 10kW
・定格電流 ：25A
・定格電圧：-800V
・イグニッション電圧： -1500V
異常放電制御：異常放電検出時に高速アーク遮断回路により遮断
制御
・制御方式 ：定電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御）
・制御精度 ：定電力制御（P制御）：定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方
定電流制御（I制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
定電圧制御（V制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
・制御保証範囲 ：定格電力量の10～100%
・外部制御 ：Analog/Digital, RS-232Cまたは485
並列運転：最大12台（10, 10H, -4の混在、および20, 20H, -4の混在は不可）
冷却方式 ：強制空冷
外形寸法：W×D×H 483×630×133mm (突起物含まず)
質量 ：29kg
適合規格 ：CE/ SEMI F47/ RoHS指令
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
DC-10-H-AM仕様
入力仕様
・入力電圧 ：3相 AC187～229V
・入力容量：13.5kVA以下
出力仕様
・最大定格電力 ：10kW
・定格電流 ：18A
・定格電圧 ：-1000V
・イグニッション電圧： -1500V
異常放電制御：異常放電検出時に高速アーク遮断回路により遮断
制御
・制御方式 ：定電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御）
・制御精度 ：定電力制御（P制御）：定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方
定電流制御（I制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
定電圧制御（V制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
・制御保証範囲 ：定格電力量の10～100%
・外部制御 ：Analog/Digital, RS-232Cまたは485
並列運転：最大12台（10, 10H, -4の混在、および20, 20H, -4の混在は不可）
冷却方式 ：強制空冷
外形寸法：W×D×H 483×630×133mm (突起物含まず)
質量 ：29kg
適合規格 ：CE/ SEMI F47/ RoHS指令
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
DC-10-4-AM仕様
入力仕様
・入力電圧 ： 3相 AC342～440V
・入力容量：13.5kVA以下
出力仕様
・最大定格電力 ：10kW
・定格電流 ：25A
・定格電圧 ：-800V
・イグニッション電圧： -1500V
異常放電制御：異常放電検出時に高速アーク遮断回路により遮断
制御
・制御方式 ：定電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御）
・制御精度 ：定電力制御（P制御）：定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方
定電流制御（I制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
定電圧制御（V制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
・制御保証範囲 ：定格電力量の10～100%
・外部制御 ：Analog/Digital, RS-232Cまたは485
並列運転：最大12台（10, 10H, -4の混在、および20, 20H, -4の混在は不可）
冷却方式 ：強制空冷
外形寸法：W×D×H 483×630×133mm (突起物含まず)
質量 ：29kg
適合規格 ：CE/ SEMI F47/ RoHS指令
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
DC-20-AM仕様
入力仕様
・入力電圧 ：3相 AC187～229V 3相
・入力容量：25kVA以下
出力仕様
・最大定格電力 ：20kW
・定格電流 ：50A
・定格電圧 ：-800V
・イグニッション電圧： -1500V
異常放電制御：異常放電検出時に高速アーク遮断回路により遮断
制御 ：定電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御）
・制御方式
・制御精度 ：定電力制御（P制御）：定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方
定電流制御（I制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
定電圧制御（V制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
・制御保証範囲 ：定格電力量の10～100%
・外部制御 ：Analog/Digital, RS-232Cまたは485
並列運転：最大12台（10, 10H, -4の混在、および20, 20H, -4の混在は不可）
冷却方式 ：強制空冷
外形寸法：W×D×H 483×630×133mm (突起物含まず)
質量 ：36kg
適合規格 ：CE/ SEMI F47/ RoHS指令
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
DC-20-H-AM仕様
入力仕様
・入力電圧 ：3相 AC187～229V 3相
・入力容量：25kVA以下
出力仕様
・最大定格電力 ：20kW
・定格電流 ：40A
・定格電圧 ：-1000V
・イグニッション電圧：-1500V
異常放電制御：異常放電検出時に高速アーク遮断回路により遮断
制御 ：定電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御）
・制御方式
・制御精度 ：定電力制御（P制御）：定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方
定電流制御（I制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
定電圧制御（V制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
・制御保証範囲 ：定格電力量の10～100%
・外部制御 ：Analog/Digital, RS-232Cまたは485
並列運転：最大12台（10, 10H, -4の混在、および20, 20H, -4の混在は不可）
冷却方式 ：強制空冷
外形寸法：W×D×H 483×630×133mm (突起物含まず)
質量：36kg
適合規格 ：CE/ SEMI F47/ RoHS指令
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
DC-20-4-AM仕様
入力仕様
・入力電圧 ：3相 AC342～440V
・入力容量：25kVA以下
出力仕様
・最大定格電力 ：20kW
・定格電流 ：50A
・定格電圧 ：-800V
・イグニッション電圧：-1500V
異常放電制御：異常放電検出時に高速アーク遮断回路により遮断
制御 ：定電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御）
・制御方式
・制御精度 ：定電力制御（P制御）：定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方
定電流制御（I制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
定電圧制御（V制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方
・制御保証範囲 ：定格電力量の10～100%
・外部制御 ：Analog/Digital, RS-232Cまたは485
並列運転：最大12台（10, 10H, -4の混在、および20, 20H, -4の混在は不可）
冷却方式 ：強制空冷
外形寸法：W×D×H 483×630×133mm (突起物含まず)
質量 ：36kg
適合規格 ：CE/ SEMI F47/ RoHS指令
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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