製品情報 PRODUCT

入力仕様

　・入力電圧：3相　AC396V～484V

　・入力容量：41.5kVA以下

出力仕様

　・最大定格電力 ：30kW

　・定格電流 ：55A

　・定格電圧 ：ー1200V

　・イグニッション電圧： ー1500V

異常放電制御：異常放電検出時に高速アーク遮断回路により遮断制御

　・制御方式 ：電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御）

　・制御精度 ：定電力制御（P制御）：定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方

定電流制御（I制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方

定電圧制御（V制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方

　・制御保証範囲 ：定格電力量の10～100%

　・外部制御 ：Analog/Digital, RS-232Cまたは485, EtherCAT

並列運転：最大12台

冷却方式 ：強制空冷

外形寸法：W×D×H 483×650×177mm (突起物含まず)

質量 ：45kg

適合規格 ：CE/ SEMI F47/ RoHS指令

スパッタリング用DC電源（30kWハイインピーダンス仕様）

【用途】

FPD用スパッタリング装置

半導体用スパッタリング装置

タッチパネル用スパッタリング装置

産業コーティング用スパッタリング装置

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

超低アークエネルギーを実現。（高速アーク遮断回路）生産性や歩留まり向上に貢献します。

ハイインピーダンス負荷に対応の1200V出力。

EtherCAT対応により、装置の省配線に貢献します。