製品情報 PRODUCT

ASTシリーズ│アトナープ社製(四重極型質量分析装置:ASTON)製品紹介│三弘エマテック株式会社

ASTシリーズ│アトナープ社製(四重極型質量分析装置:ASTON)製品紹介│三弘エマテック株式会社
型式 ASTシリーズ
メーカー アトナープ㈱
この製品についての
お問い合わせはこちら

製品説明

ASTONは、使い勝手や価格を重視し、機能を絞り込んだ標準モデルと、

二種類のイオン源を搭載したハイエンドモデルの2つのバージョンを提供しています。

これにより、ユーザーは目的やアプリケーションに応じて最適なモデルを選択できます。

またASTONは幅広い産業分野でのガス測定において、柔軟性と高性能を

両立させた装置となっています。

【用途】

エッチング、エンドポイントモニタ、チェンバー汚染モニタ、ガス除害システムの残留ガス分析

環境モニタ、発酵プロセスモニタ、天然ガス分析モニタ、Lyophilization (Freeze-Drying)

セキュリティ、安全分野、真空装置のリークモニタ

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

特徴

イオン源の選択肢: 標準モデルでは電子イオン化(EI)イオン源をハイエンドモデルでは誘導結合プラズマ(ICP)イオン源を搭載しています。

これにより、異なるガス成分の分析に対応できるようになっています。

双極形電極の採用: 分析部を双極形電極にすることで、小型ながらイオンの透過率が向上しています。これにより、高い感度でデータを取得することが可能です。

SEM(走査型電子顕微鏡)の搭載: ASTONはSEMを搭載しており、これにより従来製品よりも高感度なデータを取得することが可能です。

産業向けのリアルタイムモニタ: ASTONは、半導体、産業機器、医薬品製造などのプロセスのリアルタイムモニタリングに適しています。そのため、製造プロセスの品質管理や効率向上に貢献できます。

設計の重視ポイント: フットプリント、操作性、メンテナンス性、耐久性を重視して設計されており、ユーザーが装置を効果的かつ容易に操作できるようになっています。

AST3007仕様

質量分離方式: 四重極型

イオン化方式: 電子イオン化法

フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3

検出器: FC/SEM

真空排気系: ターボ分子ポンプ

質量範囲: 2~285 u

質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)

検出限界: 0.1 ppm

動作温度: 15~35 ℃

電力: 350 W

重さ: 13 kg

サイズ (L×W×H): 299 x 218 x 331 mm

※1 窒素換算値

※2 窒素換算値(EI)

※3 相対湿度80%結露無し

※4 AC100-240V

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

AST3006仕様

質量分離方式: 四重極型

イオン化方式: 電子イオン化法

フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3

検出器: FC/SEM

真空排気系: ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプ

質量範囲: 2~285 u

質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)

検出限界: 0.1 ppm

動作温度: 15~35 ℃

電力: 350 W

重さ: 13 kg

サイズ (L×W×H): 299 x 218 x 331 mm

※1 窒素換算値

※2 窒素換算値(EI)

※3 相対湿度80%結露無し

※4 AC100-240V

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

AST3005仕様

質量分離方式: 四重極型

イオン化方式: 電子イオン化法

フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3

検出器: FC/SEM

真空排気系: ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプ

質量範囲: 2~220 u

質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)

検出限界: 0.1 ppm

動作温度: 15~35 ℃

電力: 350 W

重さ: 15 kg

サイズ (L×W×H): 400 x 240 x 325 mm

※1 窒素換算値

※2 窒素換算値(EI)

※3 相対湿度80%結露無し

※4 AC100-240V

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

AST3004仕様

質量分離方式: 四重極型

イオン化方式: 誘導結合プラズマ法、電子イオン化法

フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3

検出器: FC/SEM

真空排気系: ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプ

質量範囲: 2~220 u

質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)

検出限界: 0.1 ppm

動作温度: 15~35 ℃

電力: 350 W

重さ: 15 kg

サイズ (L×W×H): 400 x 240 x 325 mm

※1 窒素換算値

※2 窒素換算値(EI)

※3 相対湿度80%結露無し

※4 AC100-240V

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

AST3003仕様

質量分離方式: 四重極型

イオン化方式: 電子イオン化法

フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3

検出器: FC/SEM

真空排気系: ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプ

質量範囲: 2~285 u

質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)

検出限界: 0.1 ppm

動作温度: 15~35 ℃

電力: 350 W

重さ: 15 kg

サイズ (L×W×H): 400 x 240 x 325 mm

※1 窒素換算値

※2 窒素換算値(EI)

※3 相対湿度80%結露無し

※4 AC100-240V

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

AST3002仕様

質量分離方式: 四重極型

イオン化方式: 誘導結合プラズマ法、電子イオン化法

フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3

検出器: FC/SEM

真空排気系: ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプ

質量範囲: 2~285 u

質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)

検出限界: 0.1 ppm

動作温度: 15~35 ℃

電力: 350 W

重さ: 15 kg

サイズ (L×W×H): 400 x 240 x 325 mm

※1 窒素換算値

※2 窒素換算値(EI)

※3 相対湿度80%結露無し

※4 AC100-240V

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

一覧へ戻る

真空技術に関するご相談・お見積もりは
お気軽にご連絡ください。

フォームからお問い合わせ

デモンストレーション・サンプリングテスト、資料請求やその他のお問い合わせは、下記のリンクよりフォームをご入力頂くことでお問い合わせが可能です。
※3営業日以内に弊社担当者より返信させて頂きます。

各種お問い合わせはこちら