ASTシリーズ│アトナープ社製(四重極型質量分析装置:ASTON)
- ASTシリーズ│アトナープ社製(四重極型質量分析装置:ASTON)
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型式 ASTシリーズ メーカー アトナープ㈱
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製品説明
ASTONは、使い勝手や価格を重視し、機能を絞り込んだ標準モデルと、
二種類のイオン源を搭載したハイエンドモデルの2つのバージョンを提供しています。
これにより、ユーザーは目的やアプリケーションに応じて最適なモデルを選択できます。
またASTONは幅広い産業分野でのガス測定において、柔軟性と高性能を
両立させた装置となっています。
【用途】
エッチング、エンドポイントモニタ、チェンバー汚染モニタ、ガス除害システムの残留ガス分析
環境モニタ、発酵プロセスモニタ、天然ガス分析モニタ、Lyophilization (Freeze-Drying)
セキュリティ、安全分野、真空装置のリークモニタ
特徴
イオン源の選択肢: 標準モデルでは電子イオン化(EI)イオン源をハイエンドモデルでは誘導結合プラズマ(ICP)イオン源を搭載しています。
これにより、異なるガス成分の分析に対応できるようになっています。
双極形電極の採用: 分析部を双極形電極にすることで、小型ながらイオンの透過率が向上しています。これにより、高い感度でデータを取得することが可能です。
SEM(走査型電子顕微鏡)の搭載: ASTONはSEMを搭載しており、これにより従来製品よりも高感度なデータを取得することが可能です。
産業向けのリアルタイムモニタ: ASTONは、半導体、産業機器、医薬品製造などのプロセスのリアルタイムモニタリングに適しています。そのため、製造プロセスの品質管理や効率向上に貢献できます。
設計の重視ポイント: フットプリント、操作性、メンテナンス性、耐久性を重視して設計されており、ユーザーが装置を効果的かつ容易に操作できるようになっています。
AST3007仕様
質量分離方式: 四重極型
イオン化方式: 電子イオン化法
フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3
検出器: FC/SEM
真空排気系: ターボ分子ポンプ
質量範囲: 2~285 u
質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)
検出限界: 0.1 ppm
動作温度: 15~35 ℃
電力: 350 W
重さ: 13 kg
サイズ (L×W×H): 299 x 218 x 331 mm
※1 窒素換算値
※2 窒素換算値(EI)
※3 相対湿度80%結露無し
※4 AC100-240V
AST3006仕様
質量分離方式: 四重極型
イオン化方式: 電子イオン化法
フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3
検出器: FC/SEM
真空排気系: ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプ
質量範囲: 2~285 u
質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)
検出限界: 0.1 ppm
動作温度: 15~35 ℃
電力: 350 W
重さ: 13 kg
サイズ (L×W×H): 299 x 218 x 331 mm
※1 窒素換算値
※2 窒素換算値(EI)
※3 相対湿度80%結露無し
※4 AC100-240V
AST3005仕様
質量分離方式: 四重極型
イオン化方式: 電子イオン化法
フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3
検出器: FC/SEM
真空排気系: ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプ
質量範囲: 2~220 u
質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)
検出限界: 0.1 ppm
動作温度: 15~35 ℃
電力: 350 W
重さ: 15 kg
サイズ (L×W×H): 400 x 240 x 325 mm
※1 窒素換算値
※2 窒素換算値(EI)
※3 相対湿度80%結露無し
※4 AC100-240V
AST3004仕様
質量分離方式: 四重極型
イオン化方式: 誘導結合プラズマ法、電子イオン化法
フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3
検出器: FC/SEM
真空排気系: ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプ
質量範囲: 2~220 u
質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)
検出限界: 0.1 ppm
動作温度: 15~35 ℃
電力: 350 W
重さ: 15 kg
サイズ (L×W×H): 400 x 240 x 325 mm
※1 窒素換算値
※2 窒素換算値(EI)
※3 相対湿度80%結露無し
※4 AC100-240V
AST3003仕様
質量分離方式: 四重極型
イオン化方式: 電子イオン化法
フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3
検出器: FC/SEM
真空排気系: ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプ
質量範囲: 2~285 u
質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)
検出限界: 0.1 ppm
動作温度: 15~35 ℃
電力: 350 W
重さ: 15 kg
サイズ (L×W×H): 400 x 240 x 325 mm
※1 窒素換算値
※2 窒素換算値(EI)
※3 相対湿度80%結露無し
※4 AC100-240V
AST3002仕様
質量分離方式: 四重極型
イオン化方式: 誘導結合プラズマ法、電子イオン化法
フィラメント: Re/W もしくは Ir/Y2O3
検出器: FC/SEM
真空排気系: ターボ分子ポンプとダイアフラムポンプ
質量範囲: 2~285 u
質量分解能: 0.8±0.2(10% Valley)
検出限界: 0.1 ppm
動作温度: 15~35 ℃
電力: 350 W
重さ: 15 kg
サイズ (L×W×H): 400 x 240 x 325 mm
※1 窒素換算値
※2 窒素換算値(EI)
※3 相対湿度80%結露無し
※4 AC100-240V
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