製品情報 PRODUCT

極・超高真空領域での排気特性を強化したポンプです。

新型素子と磁場の最適化を図ることで、排気速度を向上させています。

 

【用途】

PSTシリーズのポンプは、以下のような用途で活用できます。

加速器、電子顕微鏡、電子線描画装置、振動を嫌う分析装置

 

【仕様 】(一部モデルの例)

型式: PST-030CU, PST-030AU, PST-050CU, PST-050AU, PST-100CX, PST-100AX

排気対象ガス: 活性ガス、希ガス

再生排気速度: 0.03m³/s から 0.10m³/s (N2ガスおよびAr測定時)

到達圧力: 10-9Pa

印加電圧: DC +7.5kV

接続フランジ型式: UFC070, UFC114, UFC152

使用環境: 温度範囲 5~40℃、湿度範囲 85%以下(結露なきこと)

推奨コントローラ：GST-07L-B　このコントローラは、PSTシリーズのポンプを制御するための装置です。

 

※各モデルには異なる排気速度、印加電圧、内容積、およびその他の特性があり、

　用途に応じて選択できるようになっています。

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

極・超高真空対応: 超高真空領域での排気特性を強化しています。

ISO規格のテストドームを使用し、10^-9 Pa台の到達圧力を実証できます。

希ガス排気強化型 (AU型): AU型ポンプは、アルゴンに対して2倍の排気性能を提供します。（当社比較での値）

大きな排気速度: 超高真空領域においても大きな排気速度を実現します。

短時間で超高真空領域まで排気可能: 効率的な排気能力を持ち、超高真空領域まで短時間で排気できます。

超高真空領域における優れた起動特性: 放電が超高真空領域まで持続し、起動特性が優れています。

極・超高真空環境の利用など