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STM-2│インフィコン社製(膜厚/蒸着レートモニター)製品紹介│三弘エマテック株式会社

STM-2│インフィコン社製(膜厚/蒸着レートモニター)製品紹介│三弘エマテック株式会社
型式 STM-2
メーカー インフィコン㈱
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製品説明

STM-2はUSB接続でシンプルかつ精密な測定エンジンを備え、そのコンパクトかつ低価格のパッケージは効率的なセットアップと操作を可能にします。

毎秒10回の測定が可能で、1回の測定当たり0.037 Åの高い分解能を提供します(密度 = 1、Z ratio = 1の場合)

 

【仕様】

種類(センサー):シングルQCMセンサー(シャッター制御不可)

入力数(センサー):STM-2×1台に付き センサー×1台

入力端子 (センサー):BNCメスコネクタ

使用可能な水晶振動子:6 MHz

周波数分解能:0.03 Hz(6 MHzにおいて)

測定間隔:0.10 s

基準周波数の安定性 :±2 ppm

膜厚とレートの分解能と測定:0.037 Å(Tooling Factor = 100、密度 = 1、Z ratio = 1、6 MHzの場合です)

膜厚表示の分解能:1 Å(ソフトウェアでの表示のみ)

インタフェース :400 mA、5 V DCの給電可能なv1.1以降のUSB

サイズ:11.4 × 7.6 × 2.5 cm(4.5 × 3 × 1インチ)

重さ:57 g

コンピュータ要求 Windows 2000以降のMicrosoftのいずれかのOSを実行しているパソコンで、1台のSTM-2につき1つのUSB 1.1以降のポートを使用できることが必要。

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

特徴

・低価格で導入可能

・シンプルなUSB接続なので取り回しが容易

・オシレータ内蔵型

・毎秒10回の測定が可能で高精度を実現

・外部オシレータにの対応可能

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