小型真空蒸着装置│昭和真空社製（SEC-06D/08C）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 小型真空蒸着装置│昭和真空社製（SEC-06D/08C）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 SEC-06D/08C メーカー ㈱昭和真空
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製品説明
コンパクトサイズな金属薄膜用蒸着装置となります。
蒸発源は抵抗加熱式を採用しており、金属材料を蒸発させ基板上に薄膜の形成を行います。
バッチ式の装置となり、自転式治具を搭載しており付き周りの良い成膜を行います。
膜厚制御は水晶発振式膜厚計で行います。
操作制御系は全自動式になります。
ご用途に応じて自転式治具以外に公転ドーム式や自公転式への変更も可能です。
低価格でリーズナブルに研究開発・小ロット生産をスタートさせることが可能です。
ロードロック式へのカスタマイズも可能です。
【用途】
・金属装飾部品
・アンダーコート・トップコートなどの塗料評価用
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
・全自動式による容易な操作性
・研究開発用から少量生産に最適
・チャンバー(真空槽)はメンテナンス性が高いフロントドアタイプ
・操作制御系一体型によるコンパクトなデザイン
仕様・その他
到達圧力：10-4乗Pa台
排気速度：大気圧より6.7×10-3乗Paまで20分以内
基板加熱温度：MAX150℃
基板回転：2～14rpm(回転/分)
蒸発源：抵抗加熱式蒸発源 4式、切替式(蒸発電源2台)
排気系：SEC-06D⇒油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ
SEC-08C⇒クライオポンプ、ドライ真空ポンプ
チャンバー(真空槽)サイズ：W500mm×D500mm×H600mm
フットプリント：W1240mm×D1300mm×H2000mm
装置重量：500kg
【ユーティリティ】
電源容量：AC200V(3相）/9.8kVA(28A)
所要水量：0.2MPa以上(差圧)、0.75㎥/h、20～25℃ ＊冷却水入口の最大圧は0.4MPa以下、水質は市水相当となります。
所要空圧：0.5MPa以上、接続口径8A(Rp3/4)
【オプション】
公転ドーム式治具
自公転式治具
加熱機構
ロードロック対応
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
コンパクトな設計のメリット： 装置のコンパクトなデザインがどのように研究開発や少量生産の効率を向上させるか
コンパクトな設計は、製品のパフォーマンスと効率性を最大化するための重要な要素です。
小型真空蒸着装置のコンパクトな設計は、その設置と運用に必要な物理的なスペースを最小限に抑えることができます。これは、製造フロアの有効な利用を可能にし、他の設備や作業員の動きを妨げることなく、装置を配置することができます。これにより、全体的な生産効率が向上します。
さらに、小型の装置は、移動や再配置が容易であるため、生産ラインの変更や拡張に対する柔軟性を提供します。これは、研究開発や少量生産において特に重要で、試作品の生産やテストにおける迅速なイテレーションを可能にします。
したがって、小型真空蒸着装置のコンパクトな設計は、製造プロセスの効率性と柔軟性を大幅に向上させ、生産コストの削減に寄与します。
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