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セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ│アルバック社製(真空計)製品紹介│三弘エマテック株式会社

セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ│アルバック社製(真空計)製品紹介│三弘エマテック株式会社
型式 CCMT-Dシリーズ
メーカー ㈱アルバック
この製品についての
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製品説明

セラミック(アルミナ)でできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出する真空計です。

センサ部はセラミックによる一体構造となり、優れた再現性、安定性を備えており、

低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく(絶対圧真空計)、精度良く測定出来ます。

【用途】

 成膜装置のプロセス中の圧力モニタ

 真空溶解、真空熱処理炉などの真空排気系の圧力モニタ

 太陽電池などの各種製造装置の圧力モニタ

 ガス置換、ガス封入などの圧力モニタ

 加圧還元炉などの加圧真空システム

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

特徴

・長期間にわたる安定性

・セラミック膜の採用による、優れた耐腐食性

・温度補償回路内蔵タイプ

・汚れからセンサを保護する構造を新規採用

・プッシュボタンによる0点調整が可能

 

CCMT-1000D仕様

測定フルスケール:133kPa F.S.

測定下限圧力:13Pa

実用測定下限圧力:66.6Pa

分解能:フルケースに対し0.003%

精度*1:指示値に対し±0.2% ±温度係数

温度係数:ゼロ電圧⇒0.015% F.S. / ℃、スパン電圧⇒0.01% R / ℃

使用温度範囲:10~50℃

応答速度:30ms以下

接ガス部材質:Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田

入力電源:DC14~30V, 1W

出力:DC 0~10VF.S

質量:329g(直径12.7・標準型)

外形寸法:直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型)

フィッティング:直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR

温度補償:温度補償回路内臓

入出力コネクタ:D-sub 15ピン オス

*1:2時間電源投入後、使用環境温度25℃、ゼロ点調整実施

*2:Ni⇒28%、Co⇒23%、Fe⇒49%

*3:Cr⇒18%、Ni⇒10%、Mo⇒3%、69%⇒Fe

CCMT-100D仕様

測定フルスケール:13.3kPa F.S.

測定下限圧力:1.3Pa

実用測定下限圧力:6.7Pa

分解能:フルケースに対し0.003%

精度*1:指示値に対し±0.2% ±温度係数

温度係数:ゼロ電圧⇒0.015% F.S. / ℃、スパン電圧⇒0.01% R / ℃

使用温度範囲:10~50℃

応答速度:30ms以下

接ガス部材質:Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田

入力電源:DC14~30V, 1W

出力:DC 0~10VF.S

質量:329g(直径12.7・標準型)

外形寸法:直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型)

フィッティング:直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR

温度補償:温度補償回路内臓

入出力コネクタ:D-sub 15ピン オス

*1:2時間電源投入後、使用環境温度25℃、ゼロ点調整実施

*2:Ni⇒28%、Co⇒23%、Fe⇒49%

*3:Cr⇒18%、Ni⇒10%、Mo⇒3%、69%⇒Fe

CCMT-10D仕様

測定フルスケール:1.33kPa F.S.

測定下限圧力:0.13Pa

実用測定下限圧力:0.67Pa

分解能:フルケースに対し0.003%

精度*1:指示値に対し±0.2% ±温度係数

温度係数:ゼロ電圧⇒0.015% F.S. / ℃、スパン電圧⇒0.01% R / ℃

使用温度範囲:10~50℃

応答速度:30ms以下

接ガス部材質:Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田

入力電源:DC14~30V, 1W

出力:DC 0~10VF.S

質量:329g(直径12.7・標準型)

外形寸法:直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型)

フィッティング:直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR

温度補償:温度補償回路内臓

入出力コネクタ:D-sub 15ピン オス

*1:2時間電源投入後、使用環境温度25℃、ゼロ点調整実施

*2:Ni⇒28%、Co⇒23%、Fe⇒49%

*3:Cr⇒18%、Ni⇒10%、Mo⇒3%、69%⇒Fe

CCMT-1D仕様

測定フルスケール:133Pa F.S.

測定下限圧力:1.3×10-2Pa

実用測定下限圧力:6.7×10-2Pa

分解能:フルケースに対し0.003%

精度*1:指示値に対し±0.2% ±温度係数

温度係数:ゼロ電圧⇒0.015% F.S. / ℃、スパン電圧⇒0.01% R / ℃

使用温度範囲:10~50℃

応答速度:30ms以下

接ガス部材質:Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田

入力電源:DC14~30V, 1W

出力:DC 0~10VF.S

質量:329g(直径12.7・標準型)

外形寸法:直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型)

フィッティング:直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR

温度補償:温度補償回路内臓

入出力コネクタ:D-sub 15ピン オス

*1:2時間電源投入後、使用環境温度25℃、ゼロ点調整実施

*2:Ni⇒28%、Co⇒23%、Fe⇒49%

*3:Cr⇒18%、Ni⇒10%、Mo⇒3%、69%⇒Fe

真空計:セラミックキャパシタンスマノメータの可能性や課題の考察

真空技術はさまざまな産業や科学分野で重要な役割を果たしています。未来に向けて、どのように進化するでしょうか?

1.エネルギー分野への応用:真空技術は、エネルギーの効率的な利用にも役立ちます。例えば、太陽光発電や風力発電の装置内での真空技術の活用が期待されています。

2.宇宙探査への貢献:真空は宇宙空間の特性でもあります。将来的には、宇宙船や人口衛星の設計や運用に真空技術が欠かせない存在となるでしょう。

3.医療分野での進歩:真空技術は、MRI(磁気共鳴画像法)や放射線治療装置などの医療機器にも利用されています。今後はさらなる進歩が期待されています。

セラミックキャパシタンスマノメータの可能性と課題:セラミックキャパシタンスマノメータは、真空計の一種で、セラミック製の隔膜を使って圧力を測定します。これにはどの様な可能性と課題があるでしょうか?

1.可能性:

・高い耐久性:セラミック材料は耐久性が高く、長期間にわたって安定した性能を発揮します。

・再現性と安定性:セラミックキャパシタンスマノメータは再現性が高く、正確な圧力測定ができます。

2.課題:

・高精度の維持:真空計は正確な測定が求められるため、センサの精度を維持することが重要です。

・温度補償:温度変化による影響を最小限に抑えるために、温度補償回路が必要です。

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