排気ユニット│アルバック機工社製（VPT-060）製品紹介│三弘エマテック株式会社

排気ユニット│アルバック機工社製（VPT-060）製品紹介│三弘エマテック株式会社

型式	VPT-060
メーカー	アルバック機工㈱

・ベース架台内にターボ分子ポンプ、ドライ真空ポンプ、バルブ配管、電気系などの必要な機器をコンパクトに構成した高真空排気装置

・半導体、分析、検査、理化学、製薬などのさまざまな分野で使用され、クリーンな真空環境を提供

到達圧力: 10-5 Pa

メインポンプ：ターボ分子ポンプ（空冷）60L/sec

補助ポンプ：ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20L/min

吸・排気口:ISO63(オプション: KF-40)

所要電気量：単相/100V 0.3kVA

質量: 17 kg

使用雰囲気温度範囲: 8～38 ℃

最大寸法:幅: 340 mm、長さ: 340 mm、高さ: 355 mm

RoHS対応: 〇

電離真空計・ピラニ真空計・配管部品

※注意事項：使用条件により、性能が低下する可能性があります。

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

・完全ドライの排気ユニット: 完全にドライな排気を行います。これにより、信頼性の高い真空環境を確保

・設置スペースがコンパクトであるため、設備スペースの効率が向上

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