排気セット│エドワーズ社製（ターボ分子ポンプステーションT-Station85）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 排気セット│エドワーズ社製（ターボ分子ポンプステーションT-Station85）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 T-Station85 メーカー エドワーズ（株）
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製品説明
T-station85 は、nEXT85H （ターボ分子ポンプ）とダイヤフラム型真空ポンプ
またはロータリーポンプを組み合わせて、
シンプルなコントローラを搭載した低コストでコンパクトなターボ分子ポンプステーションです。
排気速度：47~84L/s を実現しています。
T-Station85 には新しいTAG(Turbo and Active Guage) コントローラが標準で装備されており、
ボタン一つでシステムの起動と停止を行うことができます。
エドワーズの真空計とベントバルブの制御が可能で、
到達圧力（真空計取付時）またはタイマーでターボ分子ポンプの遅延起動を制御することができます。
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
・カスタムコントローラー
専用のボタン1つでポンプの起動/停止が可能です。
読み取りやすい正確なディスプレイ表示
TAVベントバルブを取り付けた場合、ベントモードを選択で自動ベントを行うため、ユーザー操作は不要です。
・高性能バックポンプ
高性能なバックポンプとして油回転真空ポンプ：E2M1.5と
ダイアフラム真空ポンプ：XDD1が用意されており、油回転真空ポンプまたはドライ真空ポンプを選択いただけます。
ドライ真空ポンプ：mXDS3(スクロールポンプ）も選択いただくことが可能です。
・薄型でコンパクト
ゴム脚と側面の切り欠けベースプレートにより、持ち運びが容易です。
コンパクトな薄型でありながら安定した設計で倒れる心配もありません。
・ユーザー保守が可能
nEXT85(ターボ分子ポンプ)、E2M1.5(油回転真空ポンプ)、XDD1(ダイアフラム真空ポンプ)は
全てユーザー保守が可能です。
・内臓エアークーラー
一体型エアークーラーが内部電源とポンプ・コントローラーを冷却し、
複数のファンを設置することなく静音運転が可能となります。
・頑丈なメタルフレーム
フレームは全て金属製で、切れるや破損の心配がない強固な設計です。
・吸気口フランジの選択肢
用途に合わせてNW40（KF40）、ISO63またはCF63のフランジサイズを選択可能です。
T-Station85W(油回転真空ポンプ：E2M1.5搭載）仕様
排気速度（N2）：吸気口径NW-40(KF-40)⇒47L/s 吸気口径ISO/CF63⇒84L/s
圧縮比（N2）：>1×1011
バックポンプ（E2M1.5）排気速度：50Hz⇒27L/min（1.6㎥/h） 60Hz⇒33L/min（2.0㎥/h）
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
吸気口径：NW40(KF40)、ISO63またはCF63
排気口径：外径11mmノズルまたは3/8インチBSP
電源：単相100～120Vもしくは単相200～240V
リーク量：<1×10-4Pa・L/s
到達圧力時騒音レベル：56dB(A)
動作温度範囲：12～40℃
重量：21Kg
寸法：W395mm×D350mm×H270mm
T-Station85D(ドライ真空ポンプ：XDD1搭載）仕様
排気速度（N2）：吸気口径NW-40(KF-40)⇒47L/s 吸気口径ISO/CF63⇒84L/s
圧縮比（N2）：>1×1011
バックポンプ（XDD1）排気速度：50Hz⇒20L/min（1.2㎥/h） 60Hz⇒25L/min（1.5㎥/h）
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
吸気口径：NW40(KF40)、ISO63またはCF63
排気口径：サイレンサー付きまたは1/8インチBSP
電源：単相100～120Vもしくは単相200～240V
リーク量：<1×10-4Pa・L/s
到達圧力時騒音レベル：56dB(A)
動作温度範囲：12～40℃
重量：17Kg
寸法：W395mm×D350mm×H208mm
オプション
・E2M1.5用オイルミストトラップ：EMF3
・N/O TAV5ベントバルブコネクタ
・N/C TAV5ベントバルブコネクタ
・ピラニ真空計：APG100 XLC NW16（測定可能圧力：101,325Pa～10-2Pa）
・インバーテッド マグネトロンゲージ：AIM X NW25（測定可能圧力：1Pa～10-7Pa）
・広域ゲージ：WRG-S NW25（測定可能圧力：101,325Pa～10-7Pa）
・コンベクションゲージ：APGX-H NW25（測定可能圧力：133,300Pa～3×10-2Pa）
・電源ケーブル：単相100V、2m、3ピンプラグ付き、定格125V、15A
・電源ケーブル：単相200V、2m、プラグなし、定格250V、10A
・単相空冷式ドライポンプnXLi110i：吸気口径⇒NW40またはNW50、電源⇒200～230V
・単相空冷式ドライポンプnXLi200i：吸気口径⇒NW40またはNW50、電源⇒200～230V
・nXLi用電源ケーブル：2m、日本/北米仕様プラグ
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