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STNTRON HSR-351シリーズ│島津産機システムズ社製(ロードロック式高周波マグネトロン3層スパッタリング装置)製品紹介│三弘エマテック株式会社

STNTRON HSR-351シリーズ│島津産機システムズ社製(ロードロック式高周波マグネトロン3層スパッタリング装置)製品紹介│三弘エマテック株式会社
型式 STNTRON HSR-351シリーズ
メーカー 島津産機システムズ㈱
この製品についての
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製品説明

・大学や研究所等での研究開発用途に最適な装置となります。

 また、多品種少量生産にも最適です。

 

・装置の状態・各種パラメータがタッチパネルで設定・確認ができ視認性・操作性が各段に良くなりました。

 操作性:セミオート機能⇒ロードロック室から基板の投入・取出までの一連の捜査が簡単です。

     成膜補助機能⇒・成膜時間パラメータでスパッタ後の放電停止・ガス弁閉を自動運転。

            ・スパッタ処理時間を前もって設定ができ、作業者が常についていなくとも放電切り忘れ、

             ガス弁閉め忘れによる無駄な経費を削減します。

 安全性:・インターロックによる誤操作防止

     ・アラーム機能による安全確保

     ・異常処置内容が表示され復旧作業をサポート

     ・異常履歴で発生日時を記憶

 メンテナンス性:ユーザーの装置稼働状況に合わせて、効率よくメンテナンスを行っていただくために

         任意に設定が行えるようメンテナンスパラメータを装備しています。

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

特徴

 ・低価格にて高性能で使いやすい製品です。

 ・基板回成膜時:膜厚分布±5%以下(Φ100mm内)

 ・基板静止時:膜厚分布±10%以下(Φ40mm内)

 ・ロードロック室装備で、サイクルタイムを短縮

 ・液晶タッチパネルで画面の視認性および操作性向上

 ・真空排気・基板搬送・放電タイマーの自動化

 ・装置改造、展開にも柔軟に対応

HSR-351仕様

形成膜:金属、絶縁物等

膜厚分布:回転時⇒Φ100mmエリア±5%、静止時⇒Φ40mmエリア±10%

スパッタ方式:デポアップ

電極間距離:70~110mm

ターゲットホルダー:2インチ 3基

基板サイズ:回転時⇒Φ150mm、静止時⇒Φ50mm

基板取付枚数:1枚

回転数:MAX20rpm

ヒーター:MAX300℃(基板表面)

主ポンプ:油拡散真空ポンプ(DP)

補助ポンプ:油回転真空ポンプ(RP)

到達圧力:10-4Pa台

ガス導入系:Ar-マスフローコントローラー(MFC) 1系統

高周波電源:13.6MHz 200W

冷却水:温度⇒5~25℃、流量⇒6L/min、圧力⇒0.2~0.3MPa・G

スパッタ用Arガス:0.1~0.2MPa・G

チャンバーリーク用N2ガス:0.1~0.2MPa・G(空気でも可)

ポンプリーク用N2ガス:0.02MPa・G(空気でも可)

圧空:0.4~0.5MPa・G

ポンプ排気:許容排気口圧力⇒20kPa・G以下

電源:AC200V、3Φ、60Hz、5KVA

アース:Aタイプ

重量:480Kg

設置面積:W1930mm×D1100mm×H1650mm

オプション:オイルミストトラップ、液体窒素トラップ、逆スパッタ機構

HSR-351L ロードロック付き仕様

形成膜:金属、絶縁物等

膜厚分布:回転時⇒Φ100mmエリア±5%、静止時⇒Φ40mmエリア±10%

スパッタ方式:デポアップ

電極間距離:70~110mm

ターゲットホルダー:2インチ 3基

基板サイズ:回転時⇒Φ150mm、静止時⇒Φ50mm

基板取付枚数:1枚

回転数:MAX20rpm

ヒーター:MAX300℃(基板表面)

主ポンプ:油拡散真空ポンプ(DP)

補助ポンプ:油回転真空ポンプ(RP)

到達圧力:ロードロック室⇒6.7Pa、スパッタ室⇒10-4Pa台

ガス導入系:Ar-マスフローコントローラー(MFC) 1系統

高周波電源:13.6MHz 200W

冷却水:温度⇒5~25℃、流量⇒6L/min、圧力⇒0.2~0.3MPa・G

スパッタ用Arガス:0.1~0.2MPa・G

チャンバーリーク用N2ガス:0.1~0.2MPa・G(空気でも可)

ポンプリーク用N2ガス:0.02MPa・G(空気でも可)

圧空:0.4~0.5MPa・G

ポンプ排気:許容排気口圧力⇒20kPa・G以下

電源:AC200V、3Φ、60Hz、5KVA

アース:Aタイプ

重量:500Kg

設置面積:W2800mm×D1100mm×H1650mm

オプション:オイルミストトラップ、液体窒素トラップ、逆スパッタ機構

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