製品情報 PRODUCT

nEXTシリーズ│エドワーズ社製(ターボ分子ポンプ)製品紹介│三弘エマテック株式会社

nEXTシリーズ│エドワーズ社製(ターボ分子ポンプ)製品紹介│三弘エマテック株式会社
型式 nEXTシリーズ
メーカー エドワーズ(株)
この製品についての
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製品説明

EXTおよびnEXT ターボ分子ポンプは、複合ドラッグステージと一体型コントローラを備えた

ハイブリッド軸受けポンプで、47~400L/sの排気速度となります。

いずれも永久磁石製上部軸受けが特長でハイドロカーボンのない、

高/ 超高真空を実現し、信頼性の高い高速運転を可能にしています。

オンボード コントローラはエドワーズ社のTIC およびTAG コントローラに直接接続できるため、

低コストのシステム統合を実現しています。

nEXT モデルでは、ユーザーが交換可能な軸受けカートリッジによってユーザー保守性を提供し、

所有コストを低減しています。

 

【オプション】

全機種

1mポンプ~コントローラ延長ケーブル

2mポンプ~コントローラ延長ケーブル

5mポンプ~コントローラ延長ケーブル 

リレー BOX:Sml Bkg 

リレー BOX:Inst & Sml Bkg 

IEC320 ソ ケ ット付接続ケーブル:2m(リレーボックス / RV or XDS 間)

IEC320 ソ ケ ット付接続ケーブル:5m(リレーボックス / RV or XDS 間)

インターフェイスケーブル:2m(TIC /リレーボックス間)

インターフェイスケーブル:5m RS232C用(TIC / PC間)

ベントポートアダプタ:NW10-1 / 8 BSP

パージリストリクタ:PRX10 NW10 

バイブレーションアダプタ:

バイブレーションアダプタ:ISO63用 

バイブレーションアダプタ:CF63用 

バイブレーションアダプタ:ISO100用

バイブレーションアダプタ:CF100用

バイブレーションアダプタ:ISO160用

 

nEXT85

TAGコントローラー

TAG 電源 

TIC100 ターボ&インスツルメントコントローラ 100W RS232C 

TIC100 ターボ&インスツルメントコントローラ 100W + 真空ゲージ 3 点RS232C

WCX85 ウォーター クーラー

ACX85 エア クーラー 

N/O TAV5 ベントバルブコネクター装備 

N/C TAV5 ベントバルブコネクター装備 

CF63 フランジヒーター 110 V 

CF63 フランジヒーター 240 V

ベアリング交換キット 

オイルカートリッジキット 

ベアリングおよびオイルカートリッジキット

ベアリング交換ツールキット

 

nEXT240/300/400

TAG コントローラー 

TAG 電源 

TIC200 ターボ&インスツルメントコントローラー 200W RS232C 

TIC200 ターボ&インスツルメントコントローラー 200W + 真空ゲージ 3 点RS232C

nEXT ラジアル エア クーラー 

nEXT アキシャル エア クーラー

nEXT ウォータークーラー 

CF100 100-120 V フランジヒーター 

CF100 200-240 V フランジヒーター 

CF160 100-120 V フランジヒーター 

CF160 200-240 V フランジヒーター 

TAV5 ソレイド駆動のベントバルブ 

nST USB ケーブル 

オイルカートリッジ ツールキット

ベアリングツール キット

オイル カートリッジ

ベアリングおよびオイル カートリッジ 

 

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

特徴

上部時期軸受け

クリーンな真空・低電力・低振動を実現しました。

 

インレットスクリーン

標準装備となります。(非表示)

 

追加リジェネステージ

Tタイプのポンプに付属しています。

圧縮の向上およびより高い背圧性能を提供します。

 

手動ベントバルブ

ベントシステムの安全機能で、ポンプへの損傷を防止します。

ベントを全自動化するソレノイドバルブと交換可能です。

 

内蔵コントローラ

直接I/Oまたはシリアルコントロールが可能です。

エドワーズのTAGまたはTICコントローラに接続して簡易なシステム化を実現しました。

 

ユーザー保守が可能

オイルカートリッジおよびベアリングは、現場で簡単に保守が可能です。

nEXT85D DN40仕様

排気速度:N2⇒47L/s Ar⇒44L/s He⇒61L/s H2⇒49L/s

圧縮比:N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒8×106 H2⇒2×105

到達圧力(CF):<5×10-8Pa

最大背圧:N2⇒1,800Pa

吸気口径:NW-40(KF-40)

排気口径:NW-16(KF-16)

始動時間:115s

取付姿勢:フランジ直立から水平±2°

冷却方式:外気/空気/水

最大漏洩磁波:5mT

最大消費電力:80W(範囲50~120)

運転電圧:24~48V d.c.

公称回転速度:90,000rpm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃

軸受け制御:上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製

コントローラータイプ:内臓

インターフェイス:RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)

重量:3Kg

寸法:W97mm×D117mm×H149mm

nEXT85H DN40仕様

排気速度:N2⇒47L/s Ar⇒44L/s He⇒61L/s H2⇒44L/s

圧縮比:N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒2×107 H2⇒5×103

到達圧力(CF):<5×10-8Pa

最大背圧:N2⇒1,800Pa

吸気口径:NW-40(KF-40)

排気口径:NW-16(KF-16)

始動時間:115s

取付姿勢:フランジ直立から水平±2°

冷却方式:外気/空気/水

最大漏洩磁波:5mT

最大消費電力:80W(範囲50~120)

運転電圧:24~48V d.c.

公称回転速度:90,000rpm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃

軸受け制御:上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製

コントローラータイプ:内臓

インターフェイス:RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)

重量:3Kg

寸法:W97mm×D117mm×H149mm

nEXT85D DN63仕様

排気速度:N2⇒84L/s Ar⇒80L/s He⇒78L/s H2⇒60L/s

圧縮比:N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒8×106 H2⇒2×105

到達圧力(CF):<5×10-8Pa

最大背圧:N2⇒1,800Pa

吸気口径:ISO63またはCF63

排気口径:NW-16(KF-16)

始動時間:115s

取付姿勢:フランジ直立から水平±2°

冷却方式:外気/空気/水

最大漏洩磁波:5mT

最大消費電力:80W(範囲50~120)

運転電圧:24~48V d.c.

公称回転速度:90,000rpm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃

軸受け制御:上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製

コントローラータイプ:内臓

インターフェイス:RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)

重量:吸気口径ISO63⇒3Kg 吸気口径CF63⇒4.5Kg

寸法:W97mm×D117mm×H149mm

nEXT85H DN63仕様

排気速度:N2⇒84L/s Ar⇒80L/s He⇒78L/s H2⇒54L/s

圧縮比:N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒2×107 H2⇒5×105

到達圧力(CF):<5×10-8Pa

最大背圧:N2⇒1,800Pa

吸気口径:ISO63またはCF63

排気口径:NW-16(KF-16)

始動時間:115s

取付姿勢:フランジ直立から水平±2°

冷却方式:外気/空気/水

最大漏洩磁波:5mT

最大消費電力:80W(範囲50~120)

運転電圧:24~48V d.c.

公称回転速度:90,000rpm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃

軸受け制御:上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製

コントローラータイプ:内臓

インターフェイス:RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)

重量:吸気口径ISO63⇒3Kg 吸気口径CF63⇒4.5Kg

寸法:W97mm×D117mm×H149mm

nEXT240D仕様

排気速度:N2⇒240L/s Ar⇒230L/s He⇒230L/s H2⇒165L/s

圧縮比:N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒3×105 H2⇒104

到達圧力(CF):<5×10-8Pa

最大背圧:N2⇒950/2,000Pa

吸気口径:ISO100またはCF100

排気口径:NW-25(KF-25)

始動時間:115s

取付姿勢:フランジ直立から水平±2°

冷却方式:外気/空気/水

最大漏洩磁波:5mT

最大消費電力:160W(範囲50~200)

運転電圧:24~48V d.c.

公称回転速度:60,000rpm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃

軸受け制御:上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製

コントローラータイプ:内臓

インターフェイス:RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)

重量:吸気口径ISO100⇒6Kg 吸気口径CF100⇒9Kg

寸法:W97mm×D117mm×H149mm

nEXT240T仕様

排気速度:N2⇒240L/s Ar⇒230L/s He⇒230L/s H2⇒165L/s

圧縮比:N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒106 H2⇒105

到達圧力(CF):<5×10-8Pa

最大背圧:N2⇒950/2,000Pa

吸気口径:ISO100またはCF100

排気口径:NW-25(KF-25)

始動時間:115s

取付姿勢:フランジ直立から水平±2°

冷却方式:外気/空気/水

最大漏洩磁波:5mT

最大消費電力:160W(範囲50~200)

運転電圧:24~48V d.c.

公称回転速度:60,000rpm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃

軸受け制御:上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製

コントローラータイプ:内臓

インターフェイス:RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)

重量:吸気口径ISO100⇒6Kg 吸気口径CF100⇒9Kg

寸法:W97mm×D117mm×H149mm

nEXT300D仕様

排気速度:N2⇒300L/s Ar⇒280L/s He⇒340L/s H2⇒280L/s

圧縮比:N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒106 H2⇒5×104

到達圧力(CF):<5×10-8Pa

最大背圧:N2⇒950/2,000Pa

吸気口径:ISO100またはCF100

排気口径:NW-25(KF-25)

始動時間:145s

取付姿勢:フランジ直立から水平±2°

冷却方式:外気/空気/水

最大漏洩磁波:5mT

最大消費電力:160W(範囲50~200)

運転電圧:24~48V d.c.

公称回転速度:60,000rpm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃

軸受け制御:上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製

コントローラータイプ:内臓

インターフェイス:RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)

重量:吸気口径ISO100⇒6Kg 吸気口径CF100⇒9Kg

寸法:W97mm×D117mm×H149mm

nEXT300T仕様

排気速度:N2⇒300L/s Ar⇒280L/s He⇒340L/s H2⇒280L/s

圧縮比:N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒3×106 H2⇒105

到達圧力(CF):<5×10-8Pa

最大背圧:N2⇒950/2,000Pa

吸気口径:ISO100またはCF100

排気口径:NW-25(KF-25)

始動時間:145s

取付姿勢:フランジ直立から水平±2°

冷却方式:外気/空気/水

最大漏洩磁波:5mT

最大消費電力:160W(範囲50~200)

運転電圧:24~48V d.c.

公称回転速度:60,000rpm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃

軸受け制御:上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製

コントローラータイプ:内臓

インターフェイス:RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)

重量:吸気口径ISO100⇒6Kg 吸気口径CF100⇒9Kg

寸法:W97mm×D117mm×H149mm

nEXT400D仕様

排気速度:N2⇒400L/s Ar⇒380L/s He⇒390L/s H2⇒325L/s

圧縮比:N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒108 H2⇒5×105

到達圧力(CF):<5×10-8Pa

最大背圧:N2⇒950/2,000Pa

吸気口径:ISO100またはCF100

排気口径:NW-25(KF-25)

始動時間:175s

取付姿勢:フランジ直立から水平±2°

冷却方式:外気/空気/水

最大漏洩磁波:5mT

最大消費電力:160W(範囲50~200)

運転電圧:24~48V d.c.

公称回転速度:60,000rpm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃

軸受け制御:上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製

コントローラータイプ:内臓

インターフェイス:RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)

重量:吸気口径ISO160⇒7Kg 吸気口径CF160⇒10Kg

寸法:W97mm×D117mm×H149mm

nEXT400T仕様

排気速度:N2⇒400L/s Ar⇒380L/s He⇒390L/s H2⇒325L/s

圧縮比:N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒>108 H2⇒106

到達圧力(CF):<5×10-8Pa

最大背圧:N2⇒950/2,000Pa

吸気口径:ISO100またはCF100

排気口径:NW-25(KF-25)

始動時間:175s

取付姿勢:フランジ直立から水平±2°

冷却方式:外気/空気/水

最大漏洩磁波:5mT

最大消費電力:160W(範囲50~200)

運転電圧:24~48V d.c.

公称回転速度:60,000rpm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃

軸受け制御:上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製

コントローラータイプ:内臓

インターフェイス:RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)

重量:吸気口径ISO160⇒7Kg 吸気口径CF160⇒10Kg

寸法:W97mm×D117mm×H149mm

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