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nEXT ターボ分子ポンプステーション│アルバック・ファイ社製(ターボ分子ポンプ)製品紹介│三弘エマテック株式会社

nEXT ターボ分子ポンプステーション│アルバック・ファイ社製(ターボ分子ポンプ)製品紹介│三弘エマテック株式会社
型式 nEXT ターボ分子ポンプステーション
メーカー エドワーズ(株)
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製品説明

nEXT ターボ分子ポンプステーションは、ターボ分子排気速度を47~400L/sから構成することが可能で、粗引きポンプはロータリベーンポンプまたはドライポンプから1.6~22㎥/h(27~367L/min)を選択可能です。

全てのnEXTターボ分子ポンプステーションにはTICターボ&インスツルメントコントローラが搭載されており、シンプルなインターフェースによってステーションの全制御が可能になります。

nEXTターボ分子ポンプステーションは完全に組立てられた状態で、組み合わせたポンプに適したミストフィルターや電源ケーブルなどの一般的なアクセサリを付属して出荷されますので開梱後すぐに使用することが可能です。

全機能が揃ったハイエンドステーションとしてモニタリングとコントロール用にRS232シリアル通信機能とWindowsソフトウエアが搭載されています。

 

NEXT TURBO STATION仕様

排気速度

・吸気口径:NW40⇒47L/s(2.82㎥/min)

・吸気口径:ISO/CF63⇒84L/s(5.04㎥/min)

・吸気口径:ISO/CF100⇒240L/sまたは300L/s(18㎥/min)

・吸気口径:ISO/CF160⇒400L/s(24㎥/min)

圧縮比:N2⇒>1011

バックポンプ排気速度:

・E2M1.5⇒50Hz:27L/min(1.6㎥/h) 60Hz:33L/min(2.0㎥/h)

・RV⇒50Hz:85L/min(5.1㎥/h) 60Hz:103L/min(6.2㎥/h)

・RV12⇒50Hz:200L/min(12㎥/h) 60Hz:237L/min(14.2㎥/h)

・XDD1⇒50Hz:20L/min(1.2㎥/h) 60Hz:25L/min(1.5㎥/h)

・nXDS6i⇒50Hz:103L/min(6.2㎥/h)

・nXDS10i⇒50Hz:190L/min(11.4㎥/h)

・nXDS15i⇒50Hz:252L/min(15.1㎥/h)

・nXDS20i⇒50Hz:367L/min(22㎥/h)

到達真空:<5×10-8Pa

吸気口接続径:NW40、ISO63、CF63、ISO100、CF100、ISO160またはCF160

排気口接続径:E2M1.5⇒NW16

       XDD1⇒サイレンサ付または1/8インチBSP

       RV/nXDS⇒NW25

重量:E2M1.5/XDD1⇒24.9~35kg

   RV/Nxds⇒41.2kg~55kg

到達時騒音レベル:≦56dB(A)

動作温度範囲:12~40℃

 

オプション

・ APG200-XLC-NW16

・ AIM200-X-NW25-アクティブインバーテッドマグネトロンゲージ

・ WRG200-X-NW25-ワイドレンジゲージ

・ APGX-H NW25 コンベクションゲージ

・ 0.5mゲージケーブル

・ 1mゲージケーブル

 

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

特徴

ターボ分子ポンプの幅広い選択肢

ターボ分子ポンプは排気速度が47~400L/s、および吸気口径がDN40~DN160から選択可能です。

 

フルコントロールが可能

TICターボ&インスツルメントコントローラは3台までの真空計をサポートし、

フルリモート制御と完全なシリアル通信機能を備えています。

 

ベントバルブの選択

オプションのターボ分子ポンプTAVベントバルブが品番マトリックスから選択可能です。

 

ユーザー保守が可能

全てのnEXTターボ分子ポンプおよびバックポンプはユーザー保守が可能です。

 

頑丈なメタルフレーム

メタルフレームにロック付きのキャスタがあり、堅牢かつ移動が簡単なシステムです。

卓上で完全に操作できるようにベンチトップ取り付けキットが含まれています。

 

バックポンプの選択肢

容量が1.6~22㎥/h(27~367L/min)のロータリベーンポンプおよびドライポンプの選択肢があります。

 

低振動

耐震マウントに粗引きポンプが取り付けられているため、伝わる振動が低レベルに抑えられています。

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