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STPシリーズ│エドワーズ社製(ターボ分子ポンプ)製品紹介│三弘エマテック株式会社

STPシリーズ│エドワーズ社製(ターボ分子ポンプ)製品紹介│三弘エマテック株式会社
型式 STPシリーズ
メーカー エドワーズ(株)
この製品についての
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製品説明

STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプは、長時間の安定稼動、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気、ミニマムメンテナンスおよび低振動が要求される用途に最適です。

多軸磁気ベアリングシステムを使用してロータを浮上させるため、

汚染のリスクがなく騒音と振動が最小化されています。

 

STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプのラインナップは、半導体プロセスに使用されています。

実験用途でもSTP 磁気浮上式ターボ分子ポンプは卓越した信頼性を発揮しており、メンテナンス不要です。

 

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

特徴

振動フリー

ロータの磁気浮上式のため摩擦接触がなく極めて低振動で、

ポンプの寿命が尽きるまで一定に保たれます。

 

オイルフリー

磁気ベアリングの使用により潤滑剤が不要です。

 

自動バランシングシステム

エドワーズ独自開発の5 軸制御技術によりロータ内のバランス不良を自動で補正します。

 

メンテナンスフリー

摩擦接触がないため摩擦源と振動源が存在しないため事実上不要です。

 

耐腐食性

STP 磁気浮上ターボ分子ポンプのほとんどのモデルは、ニッケルコーティングを施したロータと

窒素パージ機能を備えた特別な耐腐食性バージョンでもラインナップしており、

化学実験用途に最適です。

STP301 DN100仕様

排気速度:N2⇒300L/s H2⇒300L/s

圧縮比:N2⇒>108 H2⇒2×104

到達圧力(CF):<1×10-8Pa

最大吸引圧力:6.7×10-2Pa

最大背圧:13Pa

吸気口径:ISO100またはCF100

排気口径:NW-25(KF-25)

始動時間:180s

取付姿勢:自由

冷却方式:自然/強制空冷/水冷

耐磁場軸方向:15mT

放射状方向:3mT

最大消費電力:350W

定格回転速度:48,000rpm

振動:<0.01μm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):120℃

軸受け方式:3軸磁気浮上式

コントローラータイプ:別置き

インターフェイス:RS232、I/O、Profibus(オプション)

重量:11.0Kg

寸法:W218mm×D200mm×H230mm

STP451 DN160仕様

排気速度:N2⇒480L/s H2⇒460L/s

圧縮比:N2⇒>108 H2⇒2×104

到達圧力(CF):<1×10-8Pa

最大吸引圧力:6.7×10-2Pa

最大背圧:13Pa

吸気口径:ISO160またはCF160

排気口径:NW-25(KF-25)

始動時間:180s

取付姿勢:自由

冷却方式:自然/強制空冷/水冷

耐磁場軸方向:15mT

放射状方向:3mT

最大消費電力:350W

定格回転速度:48,000rpm

振動:<0.01μm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):120℃

軸受け方式:3軸磁気浮上式

コントローラータイプ:別置き

インターフェイス:RS232、I/O、Profibus(オプション)

重量:12.0Kg

寸法:W218mm×D200mm×H230mm

STP603 DN160仕様

排気速度:N2⇒650L/s H2⇒550L/s

圧縮比:N2⇒>108 H2⇒>105

到達圧力(CF):<1×10-8Pa

最大吸引圧力:1.3×10-2Pa

最大背圧:13Pa

吸気口径:ISO160またはCF160

排気口径:NW-40(KF-40)

始動時間:360s

取付姿勢:自由

冷却方式:自然/強制空冷/水冷

耐磁場軸方向:15mT

放射状方向:3mT

最大消費電力:800W

定格回転速度:35,000rpm

振動:<0.01μm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):120℃

軸受け方式:5軸磁気浮上式

コントローラータイプ:別置き

インターフェイス:RS232、I/O、Profibus(オプション)

重量:31.0Kg

寸法:W218mm×D200mm×H230mm

STP1003 DN200仕様

排気速度:N2⇒1000L/s H2⇒800L/s

圧縮比:N2⇒>108 H2⇒>105

到達圧力(CF):<1×10-8Pa

最大吸引圧力:1.3×10-2Pa

最大背圧:13Pa

吸気口径:ISO200またはCF200

排気口径:NW-40(KF-40)

始動時間:360s

取付姿勢:自由

冷却方式:自然/強制空冷/水冷

耐磁場軸方向:15mT

放射状方向:3mT

最大消費電力:800W

定格回転速度:35,000rpm

振動:<0.01μm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):120℃

軸受け方式:5軸磁気浮上式

コントローラータイプ:別置き

インターフェイス:RS232、I/O、Profibus(オプション)

重量:31.0Kg

寸法:W218mm×D200mm×H230mm

STPiX457 DN100仕様

排気速度:N2⇒300L/s H2⇒300L/s

圧縮比:N2⇒>108 H2⇒>1×104

到達圧力(CF):<1×10-8Pa

最大流量:N2⇒120sccm

最大吸引圧力:1.3×10-1Pa

最大背圧:67Pa

吸気口径:ISO100またはCF100

排気口径:NW-25(KF-25)

始動時間:480s

取付姿勢:自由

冷却方式:自然/強制空冷

耐磁場軸方向:15mT

放射状方向:3mT

最大消費電力:240W

定格回転速度:55,000rpm

振動:<0.005μm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):120℃

軸受け方式:5軸磁気浮上式

コントローラータイプ:一体型

インターフェイス:RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション)

重量:16.0Kg

寸法:W218mm×D200mm×H230mm

STPiX457 DN160仕様

排気速度:N2⇒450L/s H2⇒460L/s

圧縮比:N2⇒>108 H2⇒>1×104

到達圧力(CF):<1×10-8Pa

最大流量:N2⇒120sccm

最大吸引圧力:1.3×10-1Pa

最大背圧:67Pa

吸気口径:ISO160またはCF160

排気口径:NW-25(KF-25)

始動時間:480s

取付姿勢:自由

冷却方式:自然/強制空冷

耐磁場軸方向:15mT

放射状方向:3mT

最大消費電力:240W

定格回転速度:55,000rpm

振動:<0.005μm

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):120℃

軸受け方式:5軸磁気浮上式

コントローラータイプ:一体型

インターフェイス:RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション)

重量:16.0Kg

寸法:W218mm×D200mm×H230mm

STPiX3006C DN250仕様

排気速度:N2⇒2300L/s H2⇒2600L/s

圧縮比:N2⇒>108 H2⇒>6×104

到達圧力(CF):<1×10-7Pa

最大流量:N2⇒1000sccm

最大吸引圧力:―

最大背圧:133Pa

吸気口径:ISO250またはCF250

排気口径:NW-40(KF-40)

始動時間:840s

取付姿勢:自由

冷却方式:ー

耐磁場軸方向:15mT

放射状方向:3mT

最大消費電力:1500W

定格回転速度:27,000rpm

振動:

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):120℃

軸受け方式:5軸磁気浮上式

コントローラータイプ:一体型

インターフェイス:RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション)

重量:84.0Kg

寸法:W218mm×D200mm×H230mm

STPiX3006C DN320仕様

排気速度:N2⇒2700L/s H2⇒2700L/s

圧縮比:N2⇒>108 H2⇒>6×104

到達圧力(CF):<1×10-7Pa

最大流量:N2⇒1000sccm

最大吸引圧力:―

最大背圧:133Pa

吸気口径:ISO320またはCF320

排気口径:NW-40(KF-40)

始動時間:840s

取付姿勢:自由

冷却方式:ー

耐磁場軸方向:15mT

放射状方向:3mT

最大消費電力:1500W

定格回転速度:27,000rpm

振動:

ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ):120℃

軸受け方式:5軸磁気浮上式

コントローラータイプ:一体型

インターフェイス:RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション)

重量:87.0Kg

寸法:W218mm×D200mm×H230mm

オプション製品

STP301/451

コントローラ:SCU350 100-240V

コントローラ:SCU350 100-240V with RS232

接続ケーブル(ポンプーコントローラ):3mケーブル

接続ケーブル(ポンプーコントローラ):5mケーブル

接続ケーブル(ポンプーコントローラ):10mケーブル

接続ケーブル(ポンプーコントローラ):20mケーブル

接続ケーブル(ポンプーコントローラ):30mケーブル

電源ケーブル:3m

電源ケーブル:5m

電源ケーブル:10m

空冷ファン:115V エアクーラー

空冷ファン:220-240V エアクーラー

空冷ファン:Water cooling kit

 

STP-Ix457

電源:ips240 AC power supply 100-240V

DC電源ケーブル(ポンプー電源ケーブル):2.5m

DC電源ケーブル(ポンプー電源ケーブル):5m

DC電源ケーブル(ポンプー電源ケーブル):10m

DC電源ケーブル(ポンプー電源ケーブル):15m

DC電源ケーブル(ポンプー電源ケーブル):20m

電源ケーブル:3m

電源ケーブル:5m

電源ケーブル:10m

ベントバルブ:ベントバルブ

 

STP603/1003

コントローラ:SCU800 100-120/200-240V with RS232/485

延長ケーブル(ポンプーコントローラ):3mケーブル

延長ケーブル(ポンプーコントローラ):5mケーブル

延長ケーブル(ポンプーコントローラ):10mケーブル

延長ケーブル(ポンプーコントローラ):20mケーブル

延長ケーブル(ポンプーコントローラ):30mケーブル

電源ケーブル:3m

電源ケーブル:5m

電源ケーブル:10m

空冷ファン:100-115V エアクーラー

空冷ファン:220-240V エアクーラー

空冷ファン:Water cooling kit

 

STPiX3006C

ディスプレイ:Idt001と3mケーブル

ディスプレイ:Idt001と5mケーブル

ディスプレイ:Idt001と10mケーブル

ディスプレイ:Idt001と15mケーブル

電源ケーブル:3m

電源ケーブル:5m

電源ケーブル:10m

 

全機種共通

ベークアウト:CF100 100-120V フランジヒーター

ベークアウト:CF100 200-240V フランジヒーター

ベークアウト:CF160 100-120V フランジヒーター

ベークアウト:CF160 200-240V フランジヒーター

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