VPC-1100│アルバック機工社製（小型蒸着装置）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- VPC-1100│アルバック機工社製（小型蒸着装置）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 VPC-1100 メーカー アルバック機工㈱
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製品説明
真空性能
到達圧力：4.0X10⁻⁴Pa 1.3X10⁻⁴Pa（液体窒素使用時）
排気時間：4.0X10⁻³Pa台/10min（液体窒素使用時）
真空槽
真空槽：ガラスベルジャー（内径φ390mmX高さ350mm)
フィールドスルカラー：20ポート（側面14/底面6）
・基盤推奨サイズ･最大サイズ：□50mm・□220mm(Max)
排気系
メインポンプ：油拡散ポンプ（水冷） 1100L/sec
液体窒素トラップ：有り
補助ポンプ：油回転真空ポンプ 200L/min、2台
オイルミストトラップ：オプション
設置
最大寸法 本体：1235mm(W)X836mm(D)X2155(H)
電源：装置本体収納
質量 本体：313kg
電源：装置本体収納
特徴
●ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好
●メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能
●蒸発電源・電極の追加により同時蒸着。多層蒸着が可能
●EB仕様への変更で高融点材業の成膜が可能
●キャスター付で、移動が容易な蒸着装置
●アジャスター付で、設置の安全性を確保
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