PHI ADEPT-1010│アルバック･ファイ社製（四重極型二次イオン質量分析装置）製品説明│三弘エマテック株式会社
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型式 PHI ADEPT-1010 メーカー アルバック・ファイ㈱
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製品説明
設置要項
構成：装置本体/電気系本体/ドライポンプ
装置本体：750kg
電気系本体重量：600kg
推奨床面積：350cmX400cm
搬入間口：幅110cm以上、高さ190cm以上
電力：200-230V 単相 50A 50/60Hz 1系統
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
●高輝度底エネルギーフローティングイオン銃（Cs⁺、O₂⁺）の採用により、究極の深さ方向分解能を実現
●高透過率二次イオン光学系の採用により、ダイナミックレンジならびに検出下限を大幅に改善し、高感度・高速分析を実現
●高精度全自動5軸ステージによる自動測定が可能
●垂直入射から斜め入射まで、高感度測定が可能
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