PHI 710│アルバック･ファイ社製（走査型オージェ電子分光分析装置）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 PHI 710 メーカー アルバック・ファイ㈱
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製品説明
電流値1nA（オージェ分析可能）でAES分解能≦8nm
SEM分解能≦3nm, AES分解能≦8nm
同軸円筒鏡型アナライザ(CMA)による高感度・高スループット分析
●同軸円筒鏡型アナライザ
●複雑な形状の試料に対応
AESによる化学状態マッピング
●スペクトルマップ
●高エネルギー分解能オージェマップ
Windows®対応ソフトウェア
●Smartsoft-AES（制御用ソフトウェア）
●PHI MultiPak（データ解析ソフトウェア）
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
設置要項
構成：装置本体/電気系本体/コンピューター用テーブル
装置本体重量：1,100kg
電気系本体、テーブル重量：480kg
搬入間口：幅92cm以上、高さ194cm以上
電力：200-230V 単相 50A 50/60Hz 1系統
性能
SEM像分解能(25kV)：≦3nm
AES空間分解能(20kV, 1 nA)：≦8nm
感度：700kcps(CulM)@10kV, 10 nA
SEM倍率：Ｘ45（加速電圧：3kV)～Ｘ1,000,000ｍmまで可能
ステージ可動範囲：X,Y軸ともに±25mm
イオン銃加速電圧：0～5kV可変
イオン銃ラスター範囲：最大4mmX4mm
到達圧力：6.7X10⁻⁸Pa以下
オプション
6試料パーキング、試料冷却破断機構、EBSD、反射電子検出器、イントロカメラ、イントロゲージ、トランスファーベッセル、サーモバルブなど
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