VLPシリーズ│アルバック社製（真空アングルバルブ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- VLPシリーズ│アルバック社製（真空アングルバルブ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 VLPシリーズ メーカー ㈱アルバック
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製品説明
VLP-SA
使用圧力範囲[Pa(abs)]：大気圧～10⁻⁵Pa
許容ベーキング温度[℃]（2*）：150℃
VLP-SB
使用圧力範囲[Pa(abs)]：大気圧～10⁻⁶Pa
許容ベーキング温度[℃]（2*）：150℃
VLP-MB
使用圧力範囲[Pa(abs)]：大気圧～10⁻⁸Pa
許容ベーキング温度[℃]（2*）：150（200）℃
VLP-U
使用圧力範囲[Pa(abs)]：大気圧～10⁻⁵Pa
許容ベーキング温度[℃]（2*）：60℃
＊2）駆動部は60℃以下。（）内はバルブ”開”状態。
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
・VLP-SA 真空アングルバルブ（複動式/ステンレス/Oリングシール）
・VLP-SB 真空アングルバルブ（複動式/ステンレス/ベローズシール）
・VLP-MB 真空アングルバルブ（複動式/ステンレス/超高真空）
・VLP-U 真空アングルバルブ（複動式/鉄/Oリングシール）
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