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差動排気系キット付四重極型質量分析│アルバック社製(Qulee with YTP-H)製品紹介│三弘エマテック株式会社

差動排気系キット付四重極型質量分析│アルバック社製(Qulee with YTP-H)製品紹介│三弘エマテック株式会社
型式 Qulee with YTP-H
メーカー ㈱アルバック
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製品説明

多様な真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&Dまで幅広く活用が可能です。

 

・ガス分析計:BGM2-101, BGM2-102, BGM2-201, BGM2-202, HGM2-302から選択

・最大サンプリング圧力:大気圧, 3000Pa, 500Pa, 100PA, 10Pa, 1Paから選択

・排気ユニット Desktop YTP(YTP-70A-D)

・ターボ分子ポンプ:70L/s(N₂)

・ドライポンプ:20L/min(ダイアフラム型)

・到達圧力:10⁻⁶Pa台

 

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

特徴

●コストパフォーマンス抜群:差動排気系付のためプロセスモニタリングからRGAまで1台で対応可能

●大気圧分析も可能:分析圧力として大気圧も含め、3000Pa,500Pa,100Pa,10Pa,1Paから選択可能

●低騒音:運転音が43dB(A)以下の静音設計

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