Qulee with YTP-H│アルバック社製（差動排気系キット付四重極型質量分析）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- Qulee with YTP-H│アルバック社製（差動排気系キット付四重極型質量分析）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 Qulee with YTP-H メーカー ㈱アルバック
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製品説明
多様な真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&Dまで幅広く活用が可能です。
・ガス分析計：BGM2-101, BGM2-102, BGM2-201, BGM2-202, HGM2-302から選択
・最大サンプリング圧力：大気圧, 3000Pa, 500Pa, 100PA, 10Pa, 1Paから選択
・排気ユニット Desktop YTP(YTP-70A-D）
・ターボ分子ポンプ：70L/s(N₂)
・ドライポンプ：20L/min（ダイアフラム型）
・到達圧力：10⁻⁶Pa台
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
●コストパフォーマンス抜群：差動排気系付のためプロセスモニタリングからRGAまで1台で対応可能
●大気圧分析も可能：分析圧力として大気圧も含め、3000Pa,500Pa,100Pa,10Pa,1Paから選択可能
●低騒音：運転音が43dB(A)以下の静音設計
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