TCN-2ω│アドバンス理工社製（2ω法ナノ薄膜熱伝導率計）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- TCN-2ω│アドバンス理工社製（2ω法ナノ薄膜熱伝導率計）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 TCN-2ω メーカー アドバンス理工㈱
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製品説明
測定温度：RT
試料寸法：幅10mmX長10～20ｍｍX厚0.3～1mm（基板）
測定雰囲気：真空中
【特許・規格】
熱物性測定方法（特許第5426115号）
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
●基板上に形成された20～1000nmの薄膜の厚さ方向の熱伝導率測定が可能
●サーモリフレクタンス法を用いた温度振幅検出による測定を実現
●測定試料の前処理が容易
●Low-K絶縁膜の熱抵抗を数値化し半導体デバイスの熱設計に
●絶縁膜の開発および放熱性の改良
●熱電薄膜への応用評価
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