製品情報 PRODUCT

アークプラズマ法ナノ粒子形成装置・APDシリーズ

アークプラズマ法ナノ粒子形成装置
型式 APDシリーズ
メーカー アドバンス理工㈱
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製品説明

APD-S

試料寸法:基板 φ 2 インチ

標準蒸着源数:1

APD-P

試料寸法:粉体 試料容器寸法(内寸) φ 95mm×高30mm 攪拌機構付

標準蒸着源数:1

特徴

  • コンデンサの容量を変えることでナノ粒子の粒径を約1.5nm ~ 6nmまで自在に選択可能
  • 導電性材料(ターゲット)であれば、どのような材料もプラズマ化可能
    *ターゲットの比抵抗0.01Ωcm以下
  • 雰囲気を可変することで酸化物や窒化物を容易に生成可能
  • 担持されたナノ粒子は湿式と比較して高活性な触媒効果を示す
  • APD-S(基板蒸着モデル)
    金属薄膜(磁性、プラズモン、保護膜)
  • APD-P(粉体担持モデル)
    ナノ粒子を利用した燃料電池触媒、排ガス触媒、光触媒、VOC 分解触媒、カーボンナノチューブ触媒、プラズモン

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