製品情報 PRODUCT

昇温脱離ガス分析装置・TDS-M202R

昇温脱離ガス分析装置
型式 TDS-M202R
メーカー アドバンス理工㈱
この製品についての
お問い合わせはこちら

製品説明

温度範囲:RT ~ 1000℃

試料寸法:角20mm×厚2mm

雰囲気:真空中

加熱方式:放物面反射赤外線管状加熱方式

温度センサ:熱電対(JIS “K”)

到達真空度:10-5 Pa台(ベーキング8時間後)

測定質量数範囲:1 ~ 200amu

保安項目:冷却水量・漏電(ELB)

感度:4A/Pa

分解能:M/△M=1M(10% P.H.)

特徴

  • 高真空10-5Pa台で質量分析測定が可能
  • 高速加熱から低速加熱までの幅広い設定範囲をもち、多段ステップ加熱やサイクル加熱が可能
  • 赤外線ランプ加熱により石英製反応管はコールドウォールで、放出ガスがほとんどありません
  • パソコン(オプション)のRS-232Cを使用し、データ収集が簡単に行えます
  • 真空グリース、O-リングなどの各種真空材料の評価
  • 半導体ウェハ、チップの評価
  • 合金、セラミックス、固体材料などの微量ガス分析

一覧へ戻る

真空技術に関するご相談・お見積もりは
お気軽にご連絡ください。

フォームからお問い合わせ

デモンストレーション・サンプリングテスト、資料請求やその他のお問い合わせは、下記のリンクよりフォームをご入力頂くことでお問い合わせが可能です。
※3営業日以内に弊社担当者より返信させて頂きます。

各種お問い合わせはこちら