TDS-M202R│アドバンス理工社製（昇温脱離ガス分析装置）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- TDS-M202R│アドバンス理工社製（昇温脱離ガス分析装置）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 TDS-M202R メーカー アドバンス理工㈱
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製品説明
温度範囲：RT ～ 1000℃
試料寸法：角20mm×厚2mm
雰囲気：真空中
加熱方式：放物面反射赤外線管状加熱方式
温度センサ：熱電対（JIS “K”）
到達真空度：10-5 Pa台（ベーキング8時間後）
測定質量数範囲：1 ～ 200amu
保安項目：冷却水量・漏電（ELB）
感度：4A/Pa
分解能：M/△M＝1M（10％ P.H.）
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
- 高真空10-5Pa台で質量分析測定が可能
- 高速加熱から低速加熱までの幅広い設定範囲をもち、多段ステップ加熱やサイクル加熱が可能
- 赤外線ランプ加熱により石英製反応管はコールドウォールで、放出ガスがほとんどありません
- パソコン（オプション）のRS-232Cを使用し、データ収集が簡単に行えます
- 真空グリース、Ｏ－リングなどの各種真空材料の評価
- 半導体ウェハ、チップの評価
- 合金、セラミックス、固体材料などの微量ガス分析
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